潔泰半導(dǎo)體晶圓五槽超聲清洗設(shè)備配置：

第一槽：超聲波清洗+過(guò)濾循環(huán)
功能：將清洗出來(lái)的浮油、雜質(zhì)、粉塵過(guò)濾、節(jié)省清洗劑

第二槽：超聲波精洗
功能：經(jīng)過(guò)第一槽清洗之后，在漂洗槽漂洗一遍，提高清潔度

第三草：超聲波漂洗
功能：使用超純水作為清洗劑，使產(chǎn)品漂洗的更潔凈

第四槽：慢拉脫水
功能：有機(jī)溶劑慢拉脫水槽，采用酒精或者IPA作為脫水溶劑。連接冷水機(jī)控溫5-35℃，降低溶劑揮發(fā)，保證使用環(huán)境安全。安裝慢拉提升機(jī)構(gòu)，使清洗產(chǎn)品緩慢提升，達(dá)到脫水無(wú)水印效果。

第五槽：熱風(fēng)烘干槽
功能：經(jīng)過(guò)前4面道工序，5槽進(jìn)行熱風(fēng)循環(huán)烘干，清洗物件烘干

另外，定制其他功能如：滾筒、鼓泡、拋動(dòng)、升降、風(fēng)切等，可以按照您的尺寸規(guī)格訂做，采用何種方案咨詢我們銷(xiāo)售工程，提供免費(fèi)的技術(shù)方案規(guī)格書(shū)。